Аны RLS сериясындагы RF электр менен камсыздоого ыңгайлаштырса болот жана плазмадан оюу, каптоо, плазманы тазалоо, плазманы тазалоо жана башка процесстерде кеңири колдонулат.Жалгыз колдонулганда, аны башка өндүрүүчүлөрдүн RF кубат булактары менен бирге колдонсо болот.