RHH Сериялар RF Power Supply
-
RHH Сериялар RF Power Supply
RHH сериясындагы RF электр менен жабдуу кардарларды көбүрөөк кубаттуулук, жогорку тактык жана тез жооп берүү менен RF энергиясы менен камсыз кылуу үчүн жетилген RF муун технологиясына таянат.Фаза менен, импульсту башкара турган, санариптик тюнинг жана башка функцияларды коюуга болот.Колдонулуучу тармактар: фотоэлектрдик өнөр жай, жалпак панелдик дисплей өнөр жайы, жарым өткөргүч өнөр жайы, химиялык өнөр жай, лаборатория, илимий изилдөө, өндүрүш, ж.
Колдонулуучу процесстер: плазманы күчөтүлгөн химиялык буу чөктүрүүсү (PECVD), плазманы иштетүү, плазманы тазалоо, радио жыштык ион булагы, плазманын диффузиясы, плазманын полимеризациясын чачуу, реактивдүү чачуу, ж.б.