Депозит
түшүнүк алуу жана өнүктүрүү жараянын тездетүү.
Advanced Energy энергия менен камсыздоону жана ичке пленканы жайгаштыруу үчүн маанилүү чечимдерди жана түзмөктүн геометриясын камсыздайт.Вафли иштетүү көйгөйлөрүн чечүү үчүн, кубаттуулукту конверсиялоо боюнча биздин так чечимдерибиз кубаттуулуктун тактыгын, тактыгын, ылдамдыгын жана процесстин кайталануусун оптималдаштырууга мүмкүндүк берет.
Биз РФ жыштыктарынын, туруктуу токтун электр тутумдарынын, ыңгайлаштырылган кубаттуулуктун чыгуу деңгээлдеринин, дал келген технологиялардын жана була-оптикалык температураны көзөмөлдөө чечимдеринин кеңири спектрин сунуштайбыз, алар чындап эле процесс плазмасын жакшыраак башкарууга мүмкүндүк берет.Ошондой эле биз Fast DAQ™ жана маалыматтарды алуу жана жеткиликтүүлүк топтомун бириктирип, процессти түшүнүү жана иштеп чыгуу процессин тездетүү үчүн бириктиребиз.
Сиздин муктаждыктарыңызга туура келген чечимди табуу үчүн жарым өткөргүчтөрдү өндүрүү процесстери жөнүндө көбүрөөк билиңиз.
Сиздин чакырыгыңыз
Интегралдык микросхемалардын өлчөмдөрүн калыптандыруу үчүн колдонулган пленкалардан тартып өткөргүч жана изоляциялык пленкаларга (электр структуралары), металл пленкаларына (өз ара байланыш) сиздин жайгаштыруу процесстериңиз атомдук деңгээлдеги башкарууну талап кылат — ар бир өзгөчөлүк үчүн гана эмес, бүт пластинка боюнча.
Түзүмдүн өзүнөн тышкары, сиздин депонирленген тасмаларыңыз жогорку сапатта болушу керек.Алар дандын каалаган структурасына, бирдейлигине жана конформдык калыңдыгына ээ болушу керек жана боштуксуз болушу керек - бул талап кылынган механикалык стресстерди (кысылуу жана созуу) жана электрдик касиеттерди камсыз кылуудан тышкары.
Татаалдуулук мындан ары дагы өсүүдө.Литографиянын чектөөлөрүн (1X нм астындагы түйүндөр) чечүү үчүн, өзүн-өзү тегиздөөчү кош жана төрттүк үлгүлөрдү түзүү ыкмалары ар бир пластинада үлгүнү өндүрүү жана кайра чыгаруу үчүн сиздин жайгаштыруу процессиңизди талап кылат.
Биздин чечим
Сиз эң маанилүү деполуу тиркемелерин жана түзмөктүн геометриясын иштеткенде, сизге ишенимдүү рынок лидери керек.
Advanced Energy компаниясынын RF кубаттуулугун жеткирүү жана жогорку ылдамдыктагы дал келүү технологиясы бардык өркүндөтүлгөн PECVD жана PEALD коюу процесстери үчүн талап кылынган кубаттуулуктун тактыгын, тактыгын, ылдамдыгын жана процесстин кайталанышын ыңгайлаштырууга жана оптималдаштырууга мүмкүндүк берет.
Конфигурациялануучу дога жоопуңузду, кубаттуулуктун тактыгын, ылдамдыгын жана процесстин кайталанышын талап кылынган PVD (чачыратуу) жана ECD жайгаштыруу процесстерин тактоо үчүн биздин DC генератор технологиясын колдонуңуз.
Артыкчылыктары
● Плазманын жакшыртылган туруктуулугу жана процесстин кайталануусу түшүмдүүлүктү жогорулатат
● Толук санариптик башкаруу менен так RF жана DC жеткирүү процесстин натыйжалуулугун оптималдаштырууга жардам берет
● Плазмадагы өзгөрүүлөргө жана жааны башкарууга тез жооп берүү
● Ыңгайлаштырылган жыштыкты жөндөө менен көп деңгээлдүү импульс этч ылдамдыгын тандоону жакшыртат
● максималдуу иштөө убактысын жана продуктунун иштешин камсыз кылуу үчүн жеткиликтүү глобалдык колдоо